半導体露光装置
半導体デバイスの製造で最重要な工程となるのが、原画となる回路パターンを転写するリソグラフィ工程。この工程の主要部分を占めるのが露光機。キヤノンでは半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光機群を取り揃えています。
スキャナー
ハイエンドモデルKrFスキャナー
低CoOモデルKrFスキャナー
ステッパー
TSV/Bump形成などの後工程向けi線ステッパー
高生産性スキャナーミックスアンドマッチ対応 i線ステッパー
スキャナーミックスアンドマッチモデル i線ステッパー
ノンクリティカルデバイス量産モデル i線ステッパー
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キヤノン株式会社 半導体機器販売センター
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