MPA-7800⁺|概要

基本情報

• 装置名： MPA-7800⁺

特長

第5世代基板サイズ対応

半導体露光装置、液晶基盤露光装置で実績のあるミラープロジェクション方式を採用するとともに、大型ミラー投影系や、エアベアリング・リニアモーター駆動を利用した高速・高精度の大型ガラス基板用ステージを導入しています。これにより、第5世代基板サイズである1,200mm×1,300mmの全面露光を可能にし、1基板あたり15型パネルで16面、17型パネルで12面、22型ワイドTVで8面、さらに27型ワイドTVで6面という面取りが可能です。

32型ワイドまでの一括露光

大型ミラー投影系の搭載により、最大で32型ワイドTV用のパネルまで継ぎ目なく一括露光することが可能です。大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括して露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要となり、トータルでの生産効率の向上を図ることができます。

継ぎ目不要

大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括して露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要となり、トータルでの生産効率の向上を図ることができます。

高スループット

大型ミラー投影系を搭載し、マスクと基板の個別スキャンシステムや高照度照明系を採用することにより、基板サイズ1,200mm×1,300mmの場合に15型パネルで毎時745枚、17型パネルで毎時629枚、22型パネルで毎時373枚、また27型ワイドTV用においても毎時314枚という高スループットを実現しています。

マスクコストの削減

パネルのサイズに合わせて、標準マスク520mm×610mm、ロングマスク520mm×800mmの2種類のマスクを自動選択、自動装着できる機能を新たに導入することにより、マスクコストの削減に貢献します。