MPA-6000CF|概要

基本情報

• 装置名： MPA-6000CF

特長

幅広い解像力性能

液晶基板露光装置で実績のある大型投影系ミラーを用いたミラープロジェクション方式を採用しており、最適なスリット幅を選択することで、必要に応じた解像力を得ることができます。なお、スリットは、14ミリ幅（解像力4マイクロメートル）および25ミリ幅（解像力6マイクロメートル）に対応しています。

高オーバーレイ精度

4色のカラーレジストに対応したアライメントシステムを搭載するとともに、基板の伸縮に柔軟に対応する倍率補正機能を搭載しており、液晶基板との貼り合わせの際に発生する倍率誤差をきわめて小さくすることが可能です。これにより、1.2マイクロメートルという高いオーバーレイ精度を実現しています。

継ぎ目不要

大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括して露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要となり、トータルでの生産効率の向上を図ることができます。

高スループット

大型ミラー投影系の搭載をはじめ、マスクと基板の個別スキャンシステムや高照度照明系を採用することにより、基板サイズ730mm×920mmの場合に15型パネルで毎時634枚、17型パネルで毎時424枚、23型パネルで毎時275枚、さらに32型ワイドTVにおいても毎時166枚と、「MPA-6000⁺」と同などの高スループットを達成しています。また、1枚のマスクで一括露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要になり、トータルでの生産効率の向上を図ることが可能です。

ミックス・アンド・マッチ

歩留まり向上を目的として、ガラス基板上に直接カラーフィルターを形成する新しいプロセス技術が注目されています。最大730mm×920mmの基板サイズに対応した「MPA-6000⁺」と本体構造、コンピューターシステム、操作性、メンテナンスなどが共通 化されているため、ミックス・アンド・マッチが効率よく行え、このようなプロセスにおいても市場のC.O.O.（コスト・オブ・オーナシップ）やトータルでの生産性の要求に対応しています。