MPA-6000⁺|概要

基本情報

• 装置名： MPA-6000⁺

特長

第4世代基板サイズに対応

半導体露光装置、液晶基板露光装置で実績のあるミラープロジェクション方式を採用するとともに、新設計の大型ミラー投影系や、エアベアリング・リニアモーター駆動を利用した高速・高精度の大型ガラス基板用ステージを導入しています。これにより、第4世代基板サイズ730mm×920mmの全面露光を可能にし、1基板あたり15型パネルで9面、17型パネルで6面、23型パネルで4面、さらに32型ワイドTVで2面という面取りが可能です。

32型ワイドまでの一括露光が可能

大型ミラー投影系の搭載により、最大で32型ワイドTV用のパネルまで継ぎ目なく一括露光することが可能です。大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括して露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要となり、トータルでの生産効率の向上を図ることができます。

継ぎ目不要

大型液晶ディスプレイが1枚のマスクで一括して露光できるため、マスクデザインの規制がなく、合成部分の継ぎ目精度の維持やマスク管理が不要となり、トータルでの生産効率の向上を図ることができます。

高スループット

新露光システムの開発により、基板サイズ730mm×920mmの場合に15型パネルで毎時634枚、17型パネルで毎時424枚、23型パネルで毎時275枚、また32型ワイドTVにおいても、毎時166枚という高スループットを実現しています。さらに、新設計の大型ミラー投影系を搭載し、マスクと基板の個別スキャンシステムや高照度照明系を採用しており、単位パネルあたりの生産性を従来機種「MPA-5000」（1997年2月発売）に比べ約2倍（当社比）に高めています。

マスクコストの削減

パネルのサイズに合わせて、標準マスク520mm×610mm、ロングマスク520×800mmという2種類のマスクを自動選択、自動装着できる機能を新たに導入することにより、マスクコストの削減に貢献します。