商品・サービス情報FPD露光装置

※ FPD=Flat Panel Display

写真:FPD製造装置

FPD露光装置 MPAspシリーズ

ミラープロジェクション・マスクアライナーMPAspシリーズに代表されるFPD関連の露光装置には、常に量産性と今後への発展性を考慮した数多くの機能や技術が盛り込まれています。
アレイ基板、カラーフィルター基板向けに露光装置ラインアップをそろえ、キヤノンは露光工程分野での、高機能・高生産性を有するMPAシリーズでサポートし続けます。

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キヤノン株式会社 光機営業統括センター 第三営業部

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